微量氣體分析2

進樣方式：閥進樣

檢測器：PDHID

出峰順序：1、H2氫氣；2、O2+Ar氧氣氬氣；3、N2氮氣；4、CH4甲烷；5、CO一氧化碳；6、CO2二氧化碳；

適用性：適用于高純氣體中ppm以下的微量雜質分析；